由AG真人上海通用机械研究院自主研发的离心式双介质气体组合压缩机日前在江苏某全球领先的集成电路制造企业顺利完成调试并投入使用，各项参数抵达设计要求，获得用户好评。
众所周知，半导体行业八大焦点质料中，电子气体是仅次于硅的主要原质料，其在半导体晶圆制造质料价值中的占比为13.5%。电子气体在电子产品制造工艺中广泛应用于离子注入、刻蚀、气相、沉积、掺杂等工艺，被称为集成电路、液晶面板、LED及光伏等质料的“粮食”和“源”。电子半导体器件的性能优劣与电子气体的质量息息相关，而高纯度/超高纯度氮是电子气体中极其重要的成员之一，其在惰性；ぁ⒃仄⑻刂制濉⒐艿来瞪ㄅ牌⑾∈汀⒌壤胱幼⑷氲劝氲继迳ひ栈方谥卸际遣豢苫蛉钡脑掀凸ひ掌。而离心式双介质气体组合压缩机组则是高纯氮生产工艺中的焦点装备。恒久以来其该类型压缩机市场一直由美国企业所垄断。
本次乐成投运的机组是AG真人制造、完全自主知识产权的国产首台套该类型压缩机，其使用于一世界500强国际知名气体公司的制氮系统之中，这也是这家企业首次与中国压缩机厂商进行相助。本次投运乐成，极大的提升了该公司高纯氮制备系统的市场竞争力。这是双方四年配合努力的结果。
与此同时，两套运用于国产高纯氮制备系统的该类型压缩机调试事情也已收尾，各项参数抵达设计需求，甚至部分参数逾越了设计需求.
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已往二十年里，AG真人连续在焦点技术上进行大强度投入，逐步在螺杆、透平、往复等种种型压缩机、膨胀机、真空泵等诸多领域构建起一定技术优势。在目前“国产化”需求日益高涨的配景之下，这种技术优势使得我们的中国用户不但不会因“国产化”去牺牲所需设备的品质，反而“国产化”后获得了更可靠的产品质量和更低的能源消耗。而关于我们的国际用户则是发明以AG真人为代表的中国装备为他们带来了更大的获益。本次离心式双介质气体组合压缩机的投运乐成只是前述文字一个小小的例证吧。